白光幹涉儀是壹種用於測量納米級各種精密器件表面的儀器。它基於白光幹涉技術的原理。光源發出的光經擴束準直後分為兩束，壹束被測表面反射，另壹束被參考鏡反射，最後兩束反射光會聚幹涉。顯微鏡將被測表面的形態特征轉化為幹涉條紋信號，通過測量幹涉條紋的變化來測量表面的三維形態。
白光幹涉儀專門用於非接觸式快速測量，精密零件表面粗糙度、微觀輪廓、關鍵零件尺寸測量精度可達納米級！目前，在三維測量領域，白光幹涉儀是最精確的測量儀器之壹。
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