精密超精密加工技術是什麽概念？

20世紀60年代，為了滿足核能、大規模集成電路、激光、航空航天等尖端技術的需要，發展成為壹種精度極高的加工技術。到80年代初，其最高加工尺寸精度已經達到10nm(1 nm = 0.001微米)，表面粗糙度達到1nm，最小加工尺寸達到1微米，正在向納米加工尺寸精度的目標邁進。納米級超精密加工又稱納米技術。超精密加工是壹門正在發展的跨學科綜合技術。20世紀50年代和80年代是技術創造時期。20世紀50年代末，為適應航空航天和國防等尖端技術發展的需要，美國率先發展超精密加工技術，研制出金剛石工具的超精密切削——單點金剛石車削(SPDT)技術，又稱“微英寸技術”，用於加工激光核聚變反射鏡、戰術導彈和載人飛船的大型球面和非球面零件。主要有超精密車削、鏡面磨削和磨削。微車削是在超精密車床上用精磨的單晶金剛石車刀進行的，切削厚度只有1微米左右。常用於加工有色金屬材料的球面、非球面、平面鏡等高精度零件，表面光潔度高。比如用於加工核聚變裝置的直徑為800 mm的非球面鏡，最大精度為0.1微米，表面粗糙度為Rz0.05微米。對於機械加工來說，加工精度是指加工後的實際值與設計理論值之間的公差範圍。測量精度是測量值與真實值的接近程度。包括精密度和準確度。精密加工，精度達到3 ~ 0.3微米，粗糙度達到Ra 0.3 ~ 0.03微米，稱為精密加工；精度為0.3 ~ 0.03微米，粗糙度為0.03 ~ 0.005微米，稱為超精密加工或亞微米加工；精度為0.03微米(30 nm)，粗糙度優於Ra0.005微米以上，稱為納米(nm)加工。目前應用最廣泛的超精密加工工藝是車削、磨削、研磨和拋光。